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簡(jiǎn)要描述:LODAS™ – BI8是列真株式會(huì )社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。
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列真株式會(huì )社自創(chuàng )業(yè)以來(lái),秉承“挑戰"、“創(chuàng )造"、“誠實(shí)"的經(jīng)營(yíng)理念,為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運用激光掃描技術(shù),專(zhuān)門(mén)制造、銷(xiāo)售半導體材料表面及內部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。
特征:
可檢查鉻膜、半色調膜、光阻膜
白缺陷、黑缺陷的自動(dòng)判別
不僅是表面缺陷,內部缺陷和背面缺陷也同時(shí)檢查。
有助于缺陷分析的4種Review圖像。
“AI Classify"進(jìn)行缺陷分類(lèi)、好壞判定。
免維護。
世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。
能檢出至今為止檢查不出的缺陷。
檢出缺陷:顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。
規格:
檢查激光:405nm 200mW LaserDiode
檢查時(shí)間:180sec
檢查對象:6英寸 Photomask blanks
設備尺寸:WxDxH=450x500x730mm
使用電源:AC100V~200V 10A
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